最小测量半径:2µm最小测量楔角:20°最小测量粗糙度(Ra):80nm最小测量粗糙度(Sa):50nm最大扫描高度:25mm最大操作距离:17.5(5×物镜)最大扩展视野范围:2500mm2垂直分辨率:20nm最大单一方向测量范围:50mm位移范围(X/Y):50mm×50mm(自动调节)位移范围(Z):130mm(26mm自动调节)
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