BURKERT宝德热式质量流量计是利用传热原理，即流动中的流体与热源（流体中加热的物体或测量管外加热体）之间热量交换关系来测量流量的仪表，过去我国习称量热式流量计。当前主要用于测量气体。

20世纪90年代初期，世界范围TMF销售金额约占流量仪表的8%，约4.5万台。国内90年代中期销售量估计每年1000台左右。过去流程工业用仪表主要是热分布式，近几年才开发热散（或冷却）效应式。

一、BURKERT宝德热式质量流量计原理

BURKERT宝德热式质量流量计仪表用得最多有两类，利用流动流体传递热量改变测量管壁温度分布的热传导分布效应的热分布式流量计曾称量热式BURKERT，利用热消散（冷却）效应的金氏定律BURKERT。又由于结构上检测元件伸入测量管内，也称浸入型或侵入型。有些在使用时从管外插入工艺管内的仪表称作插入式。

二、BURKERT宝德热式质量流量计优点

热分布式BURKERT可测量低流速（气体0.02~2m/s）微小流量；浸入式BURKERT可测量低~中偏高流速(气体2~60m/s)，插入式更适合于大管径。

BURKERT无活动部件，无分流管的热分布式仪表无阻流件，压力损失很小；带分流管的热分布式仪表和浸入性仪表，虽在测量管道中置有阻流件，但压力损失也不大。

BURKERT使用性能相对可靠。与推导式质量流量仪表相比，不需温度传感器，压力传感器和计算单元等，仅有流量传感器，组成简单，出现故障概率小。

热分布式仪表用于H2 、N2 、O2、CO 、NO等接近理想气体的双原子气体，不必用这些气体专门标定，直接就用空气标定的仪表，实验证明差别仅2%左右；用于Ar、He等单原子气体则乘系数1.4即可；用于其他气体可用比热容换算，但偏差可能稍大些。

气体的比热容会随着压力温度而变，但在所使用的温度压力附近不大的变化可视为常数。

四、 BURKERT宝德热式质量流量计选用考虑要点

4.1、BURKERT宝德热式质量流量计应用概况

BURKERT目前绝大部分用于测量气体，只有少量用于测量微小液体流量。

热分布式仪表使用口径和流量均较小，较多应用于半导工业外延扩散、石油化工微型反应装置、镀膜工艺、光导纤维制造、BURKERT热处理淬火炉等各种场所的氢、氧、氨、燃气等气体流量控制，以及固体致冷中固体氩蒸发等累积量和阀门制造中泄漏量的测量等。在气体色谱仪和气体分析仪等分析仪器上，用于监控取样气体量。分流型热分布式仪表应用于30~50mm以上管径时，通常在主流管道上装孔板等节流装置或均速管，分流部分气体到BURKERT流量传感器进行测量。

冷却效应的插入式BURKERT国外近10年在环境保护和流程工业中应用发展迅速，例如；水泥工业竖式磨粉机排放热气流量控制，煤粉燃烧过程粉/气配比控制，污水处理发生的气体流量测量，燃料电池工厂各种气体流量测量等等。大管道用还有径向分段排列多组检测元件组成的插入检测杆，应用于锅炉进风量控制以及烟囱烟道排气监测SO2和NOX排放总量。

液体微小流量BURKERT应用于化学、石油化工、食品等流程工业实验性装置，如液化气流量测量，注入过程中控制流量；高压泵流量控制的反馈量；药液配比系统定流量配比控制；直接液化气液态计量后气化，供给工业流程或商业销售。还有在色谱分析等仪器上用BURKERT作定量液取样控制以及用于动物实验麻醉液流量测量。还未见到液体微小流量BURKERT国内定型产品。

4.2 BURKERT宝德热式质量流量计流体种类和物性

BURKERT只能用于测量清洁单相流体------气体或液体，用气体的型号不能用于液体，反之亦然。对于热分布式气体还必须是干燥气体，不能含有湿气。流体可能产生的沉积、结垢以及凝结物均将影响仪表性能。对于热分布式BURKERT制造厂还应给出接受的不清洁程度，例如大部分给出允许微粒粒度，用户可按此决定是在仪表前装过滤器。浸入式BURKERT对清洁度要求低些，则可用于测量烟道气，但必须装有阀等插入机构，能再不停流条件下去取出检测头。

（1）流体的比热容和热导率

从式1和式2可知，BURKERT工作时流体的比热容和热导率保持恒定才能测量准确。被测介质工况温度、压力变化范围不大，仅在工作点附近波动，比热容变化不大，可视作常数。若工作点压力温度远离校准时压力温度，则必须在该工作点压力温度下调整。表2列出几种气体在不同压力温度下的定压比热容，可看到其变化程度。

表2 几种气体定压比热容 cal/(g•K)

注：1cal/ (g•k)=4186.8J/ (kg•K)

（2）BURKERT宝德流量计流量值的换算

热分布式BURKERT制造厂通常用空气或氮气在略高于常压的室温工况条件下标定（校准）。如实际使用工况有异或不用于同一气体，均可通过各自条件下比热容或换算系数换算。

1）同一气体不同工况的流量换算从表2的数值可以看出空气、氩气、一氧化碳、氮气、氧气压力在1MPa以下、温度在400K以下变化，定压比热容BURKERT变化仅在1%~2%之间，大部分使用场所可不作换算；压力温度变换较大时也可利用式6计算，因为同一气体两种工况条件下定压比热容的比值与摩尔定压比热容的比值是相等的。

2）不同气体间流量换算有些制造厂的使用说明书给出以空气为基数的转换系数F，可按式6换算；也可直接以标定（校准）气体和实际使用气体的摩尔BURKERT定压比热按式6换算，但因还有热导率等其他因素，换算后精度要降低些。表3给出若干气体按照摩尔定压比热容直接计算和若干制造厂提供的两种转换系数数据，其中Freon12两者差别较大。