近红外光谱分析仪的光源是采用上下两个电极的方法，通上电流，电极之间就形成一个火花式光谱仪光源。在这火花式光谱仪光源中，电极之间空气或其他气体一般处于大气压力。因此放电是在充有气体的电极之间发生，是依靠电极间流过的电流使气体发光，是建立在气体放电的基础上。
低压火花以及控波型光谱分析仪光源是在电容电场作用下，采用控制气氛中放电；火花 光谱分析仪光源是在直流电场作用下，稀薄控制气氛中放电；等离子体火花式光谱仪光源是在射频电磁场作用下控制气氛中放电（电极之间的电压以及电流的关系不遵守欧姆定律的）。
光谱分析仪光源的作用是将待测元素变成气体状态，而后激发成光谱，根据该元素谱线强度转换成光电流，由计算机控制的测光系统按谱线的强度换算成元素的含量。
光源作用的这种动态过程，就是将样品由固态变成气态，其中一部份元素激发而发射光谱，而这些气态的样品又不断地向四周扩散，分析间隙的气态样品也在不断更新，以求达到一个动态平衡，当火花光谱分析仪光源激发一定时间后，蒸气云中待测元素浓度增大，只有蒸气云中浓度足够大，才能得到大的光电信号。
近红外光谱分析仪是否稳定正常地运行，直接影响到仪器测定数据的好坏，如果气路中有水珠、机械杂物杂屑等都会造成气流不稳定，因此，对气体控制系统要经常进行检查和维护。首先要做试验，打开控制系统的电源开关，使电磁阀处于工作状态，然后开启气瓶及减压阀，使气体压力指示在额定值上，然后关闭气瓶，观察减压阀上的压力表指针，应在几个小时内没有下降或下降很少，否则气路中有漏气现象，需要检查和排除。
近红外光谱分析仪保养工作做得好，就能够延长使用寿命，可以把工作做得更好。
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