测量工业显微镜

测量工业显微镜LEXT OLS 4500是一种纳米搜索显微镜，它将激光显微镜和扫描探针显微镜（SPM）结合在同一个仪器中，可以在广泛的放大范围内进行观察和测量（从大约50倍到1 000 000倍）。

测量工业显微镜OLS 4500可以快速定位感兴趣的区域，使用各种类型的无缝放大观测，将物体保持在视场内。
方法。

采用白色LED作为光源，保证彩色图像清晰，具有良好的色彩再现性。这四个目标使人们能够在从低到高的各种放大范围内进行观察。OLS 4500充分利用光学显微镜的特点，能够进行BF(Brightfield)观察-最常用的差分干涉对比度(DIC)观测，通过增强对比度，实现精细表面纹理的立体可视化，并简化了偏振光观测，反映了不同颜色样品的偏振特性。其他功能包括高动态范围(HDR)，它通过改变曝光时间来合成几幅图像，以获得亮度平衡和纹理增强的图像。OLS 4500可以使用各种观测方法快速找到感兴趣的区域。

BF亮场
最广泛使用的观测方法。
色彩逼真的自然形象
复制。适用于高对比度样品的观察。

迪奇
差分干扰对比度
增强对比度，使立体
无法用BF观察到的样品的可视化。适用于金属结构、硬盘和抛光晶圆表面等镜面样品的缺陷和杂质的检测。

简化偏振光
用反射偏振光(具有特定振动方向的光)显示样品的偏振特性(例如折射率)。适用于观察金属表面、矿物和半导体材料。

高动态范围
通过合成几幅图像来平衡观察明亮和黑暗区域
不同的曝光时间。精细的观察也是
可能通过增强纹理(表面条件)。

LSM可以用光学显微镜可视化无法观察到的东西。

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由于波长较短的405 nm激光，高孔径(高口径)物镜和共焦光学，具有很高的X-Y分辨率，使光学显微镜下不可见的物体在清晰的图像中被观察到。激光DIC观测使对纳米微表面的实时观察成为可能。

测量工业显微镜[方法]用SPM快速、准确地处理感兴趣的区域。

无缝放大观测将物体保持在视场内

四个目标，从低到高的放大安装在机动旋转喷嘴与SPM单元。50倍和100倍的现场观察模式使用光学显微镜或LSM将SPM扫描区域放置在场的中心。通过在区域上设置目标标记并切换到探针扫描模式，可以精确地接近感兴趣区域。这意味着一次SPM扫描就可以得到目标图像，提高了工作效率，减少了悬臂梁的磨损。

方便切换到SPM观测的指南

SPM观测的准备工作，如悬臂安装和扫描面积设置，可以通过引导显示进行，这意味着即使是经验较少的操作人员也可以安全地进行初步工作。

[纳米法测量】简单操作的快速测量

新研制的降噪SPM磁头

新研制的紧凑型SPM扫描仪头

OLS 4500采用鼻片式SPM扫描仪头。由于目标和悬臂端在同轴、旁焦定位中，即使切换到SPM模式，观察点也不会从视野中消失。新研制的紧凑型SPM头提高了刚度，降低了图像噪声，提高了响应能力。

按要求放大区域的导航器

导航器功能允许通过进一步提高放大率来更近地查看用探针扫描模式获取的图像中所需的区域。通过简单设置光标放大区域和启动探针扫描即可获得目标图像。扫描区域可以自由设置，使观察和测量能够更快、更有效地进行。

导航仪放大10μm x 10μm图像上的3.5μm x 3.5μm区域

满足不同要求的分析

曲率测量(硬盘凹坑)

在SPM测量模式下采集的图像可以进行分析，以适应不同应用的需要，结果可以作为CSV格式输出。OLS 4500提供以下分析功能。

• 轮廓(曲率因子测量，包含角度测量)
• 粗糙度
• 地形(面积、表面、体积、高度、直方图、方位比)
• 台阶(线、面积)
• 粒子分析(可选)

六种SPM测量模式，易于跟踪制导显示。

接触方式

该模式通过悬臂梁静态扫描设定区域，同时保持悬臂和试样之间的排斥力，以直观地显示样品的高度信息。它也可用于力曲线的测量。

金属薄膜

动态模式

该振型使悬臂梁在谐振频率附近振动，并控制Z方向距离使振动振幅常数，从而直观地显示样品的高度信息。适用于具有柔软表面的样品，如聚合物或粘性材料。

铝表面

相位模式

该模式在动态模式扫描过程中检测悬臂梁振动的相位延迟。它可以直观地显示样品表面物理性质的差异。

聚合物膜

电流模式

该模式对样品施加偏置电压，以检测和可视化悬臂梁和样品之间的电流流动。它也可用于I/V测量。

硅衬底上SiO 2图案的样品。高度图像(左)中的黄色区域是SiO 2，在当前图像(右)中显示蓝色(没有电流的区域)。这些图像表明，基板具有无电流的区域。

表面势模(KFM)

该模式通过导电悬臂梁施加交流电压，检测悬臂梁与样品之间的静电作用力，并将样品表面的电势可视化。它也被称为开尔文力显微镜(KFM)模式。

磁带样本。表面电位图像表明，几百mV的电位差分布在样品表面。这种分布被认为是在磁带表面的润滑层中存在不规则现象。

磁力模式(MFM)

该模式以相位模式扫描磁化悬臂梁的设定区域，检测悬臂梁振动中的相位延迟，然后将样品表面的磁信息可视化。它也被称为磁力显微镜(MFM)模式。

硬盘样本。图像显示了磁性能的分布。

LSM允许灵活地处理各种样本。

成像斜率达85°

由于具有高数值孔径的专用物镜和通过405 nm激光获得优异性能的专用光学系统，OLS 4500能够可靠地测量以前无法测量的锐角样品。

LEXT专用物镜

锐角剃刀

高分辨率微轮廓测量

利用波长为405 nm的短波激光和高孔径物镜，可获得0.12μ的X-Y分辨率。因此，OLS 4500可以对样品表面进行亚微米测量。结合高精度线性比例尺和奥林巴斯原始强度检测技术，这允许高清晰度成像，能够精确测量从亚微米到数百微米范围的高度。此外，OLS 4500还能保证测量值的“精度”，即测量值与其真实值的距离有多近，以及指示重复测量值之间的变化程度的“重复性”，两者都显示了测量工具的性能。

0.12μm线与空间模式

(MPLAPON50XLEXT)
台阶高度标准B型，PTB-5，Institut für Mikroelektronik，德国

指定广域内的任何图像采集区域

虽然高倍图像的视场一般较窄，但OLS 4500的拼接功能可以通过625幅图像的拼接，提供高分辨率、宽视场的图像数据。获得的宽视场图像可以进行三维显示和三维测量.