洁净室检测是洁净室施工完成后交由业主使用前的一个非常必要的环节,洁净室的检测是否达标将直接影响到洁净室的是否符合生产要求。
根据IES-RP-CC006.2洁净室测试的标准,洁净室的工作状态分为空态、静态和动态三种,测试方式取决于洁净室设计的类型和洁净室所处的工作状态。
1、洁净室的工作状态:
在洁净室的建造合同中通常只指定了基本的空态测试,而静态和动态测试常常因为紧张的工期而被遗漏。但仍建议承建商和业主在静态和动态条件下都对洁净室进行测试。这将确保洁净室的建造符合设计要求。静态和动态两种不同条件下测试结果的对比将对分析洁净室所存在的问题提供很有效的帮助。例如:在静态条件下洁净度达标而到了动态条件下却超标。这可能是因为糟糕的洁净室管理:安装机器时不规范的清洁,不恰当的清洁程序,不严格的纪律管理,不正确的机器放置位置(挡住了回风口或阻断了过滤器的送风)等。因此,建议在空态和动态时都要对洁净室进行测试。
2、洁净室测试标准和惯例:
所有的洁净室测试基本上都是基于国际认可的标准(如ISO14644-1;IEST-RP-CC006.2;NEBB手册和已被终止的FS-209E)。这些标准和惯例对洁净室的测试和认证提供了基本的指导。而事实上,洁净室的业主和承建商因产品、工艺的要求而对洁净室的技术指标,测试方式和验收标准有相对于上述标准不同的协议。因此,大多数的验收标准是由洁净室的业主和承建商通过协商,并参考专业洁净室测试认证公司的建议而达成的协议。由于独立的第三方测试认证公司通常能对于洁净室的测试提出适合的方案,因此建议业主和承建商在开始讨论洁净室的各种技术参数,测试方式和验收标准时就邀请测试认证公司参与。在对有关参数或标准产生分歧时,测试认证公司将以自己的专业知识在业主和承建商之间起到调解的作用。
3、测试项目的选择:
洁净室测试项目包括过滤器风速有其均匀性、过滤器安装检漏、压差、气流平行度、洁净度、噪声、光照度、湿/温度等等。这些是基本的测试项目,它包括了主要的和辅助的测试项目。这些项目应于洁净室初设计的标准和参数相一致,测试认证应在洁净室移交业主前完成。
所有测试项目中有4个主要项目(过滤器风速及其均匀性、过滤器安装检漏、压差和洁净度)是重要和基本的。在设备进入洁净室前必须完成。其它的一些辅助测试项目如气流平行度(只适用于单向流洁净室)、温、湿度、光照度、噪声也需要完成,因为它们与洁净室中空气的运动和环境参数有关。所以至少在动态条件下需要做以上这些辅助测试。