荧光光谱仪利用惰性气体氩气作载气，将气态氢化物和过量氢气与载气混合后，导入加热的原子化装置，氢气和氩气在特制火焰装置中燃烧加热，氢化物受热以后迅速分解，被测元素离解为基态原子蒸气，其基态原子的量比单纯加热砷、锑、铋、锡、硒、碲、铅、锗等元素生成的基态原子高几个数量级。
使用荧光光谱仪时需要注意以下几点： 1.打开原子荧光主机前，必须先开氩气钢瓶总阀并将出口压力调至0.2MPa～0.25 MPa，否则会导致仪器欠压报警并可能会影响仪器的正常工作。 2.打开仪器前装上需测的元素灯，然后打开仪器，待仪器自检结束后，看元素灯有没有亮，在冬天，元素灯有时会不亮，可把元素灯前后挪动几下，便会亮，然后取下排风罩，将调光器放在原子化器上，旋转元素灯座的可调螺钉，调节元素灯光斑中心至对光器横线与竖线的交叉点。 3.在仪器参数设置中样品设置时，混合模块的选择，一般选三通，测汞应选四通，然后点击应用。测汞无需点火和控温开，测其它元素则需点火和控温开。 4.室验中应保持实验室通风状况良好，废液桶及时处理，以保持废液排放顺畅。 5.测试结束，应清洗仪器，将进样针和还原剂毛细管放入去离子水中，点击清洗，一般洗3～5次。 6.清洗完后，退出仪器工作站，关闭计算机和仪器主机电源，关闭氩气总阀，松开泵卡。
荧光光谱分析法具有很高的灵敏度，校正曲线的线性范围宽，能进行多元素同时测定。这些优点使得它在冶金、地质、石油、农业、生物医学、地球化学、材料科学、环境科学等各个领域内获得了相当广泛的应用。
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