有关薄膜沉积控制仪的分析介绍

薄膜沉积控制仪利用原子层沉积制备高质量薄膜材料，前驱体需满足良好的挥发性、足够的反应活性以及一定热稳定性，前驱体不能对薄膜或衬底具有腐蚀或溶解作用，前驱体脉冲时间需保证单层饱和吸附，沉积温度应保持在窗口内，以避免因前驱体冷凝或热分解等引发CVD生长从而使得薄膜不均匀。
　　含尘气体进入滤筒除尘器灰斗后，由于气流断面突然扩大，气流中一部分颗粒粗大的尘粒在重力和惯性力作用下沉降下来，粒度细、密度小的尘粒进人滤筒收尘器过滤室后，通过布朗扩散和筛滤等综合效应，使粉尘沉积在滤料表面，净化后的气体进入净气室由排气管经风机排出。
　　当脉冲阀开启时，气包内的压缩空气通过脉冲阀经喷吹管上的小孔喷射出一股高速、高压的引射气流，从而形成一股相当于引射气流体积1～2倍的诱导缺陷流，一同进入除尘滤筒内，薄膜沉积控制仪使粉尘滤筒内出现瞬间正压并产生鼓胀和微动；沉积在滤料上的粉尘脱落，掉入灰斗内，灰斗内的粉尘通过卸料器，连续排出。气流中的一部分大颗粒、密度大的粉尘及凝聚尘粒在离心力、及重力作用下沿筒壁旋落灰斗，粒度细、密度小的微小尘粒悬浮于气体中通过气流分布装置，均匀进入过滤室中弥散于滤袋间隙，通过滤袋表面的惯性碰撞、筛滤等作用而沉积在滤袋表面，净化气体由主风机排出。