隔膜泵有极强耐受酸碱以及水汽的性能，但是膜片以及阀门怕固体颗粒以及酸碱形成的结晶造成的机械损伤，如何避免这种损伤详见隔膜泵使用指南。
这边就隔膜泵内部真空度下降、排气量下降是否是膜片或阀门损坏进行判断以及已经在泵腔体内形成的结晶或者固体颗粒如何清除进行简单说明。
1.先把通气管螺帽拧开，把PTFE通气管卸下。（松开螺帽后管子向侧方向转动一些，就可以取下管子和接头的连接）
2.用5号六角螺丝把手，以对角的方式卸下帽盖上六角螺丝。这时阀门托、阀门、阀门盖会在帽盖内。
3.用酒精球清洗膜片以及阀门托内侧（观察膜片是否有破损，如果有破损就应该更换膜片)。
4.把阀门托、阀门、阀门盖从帽盖内轻轻在桌子上扣下来，这时候要比较仔细，记下阀门在阀门托上摆放的方向以及位置，擦洗阀门，观察阀门是否有破损，如有破损请及时更换，清洗或者更换完毕后，在阀门托上抹上真空脂或者玻璃脂按照原来位置安装上阀门，请注意阀门上有纹路，纹路和盖子上是对应的，把帽盖在桌子上向上，装上阀门盖，扣上粘有阀门的阀门托。
5.用对角顺序上上6角螺丝，上PTFE通气管，拧好通气管螺帽。
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