使用德国LEYBOLD莱宝OB系列油扩散泵主要有哪些问题呢?

来源:网络  作者:网络转载   2019-10-10 阅读:98

德国LEYBOLD莱宝OB系列油扩散泵是利用低压、高速和定向流动的油蒸气射流抽气的真空泵。这种泵的极限真空为10-4~10-5帕,工作压力范围为10-1~10-4帕,抽速范围为几十至十几万升/秒(1升=10-3米3)。德国LEYBOLD莱宝OB系列油扩散泵是获得高真空的主要设备,广泛用于真空冶炼、真空镀膜、空间模拟试验和对油污染不敏感的一些真空系统中。
Leybold的油扩散泵和油蒸汽喷射泵非常适合工业高真空应用。它们具有卓越的真空性能数据,并且由于其坚固的设计,在中真空和高真空系统中作为可靠组件而得到很好的适应。
德国LEYBOLD莱宝OB系列油扩散泵
油增压泵(OB)具有一个或多个四级喷嘴系统和一个或多个喷射级。抽速范围为6,000至18,000 l / s,工作压力范围为10 -1至<10 -4 mbar。
德国LEYBOLD莱宝OB系列油扩散泵主要的改进是:
①泵的材料采用放气量甚小的不锈钢。
②采用饱和蒸气压很低、热稳定性好的油如聚苯醚和硅油作为泵的工作液。
③改革结构,新型油扩散泵在泵口法兰不变和不过分增大泵的外形尺寸条件下,在法兰下部突出地扩大泵腔的断面,其抽气速率可增大20~40%。如在此装设一个大直径扩散喷嘴和液氮冷却的大直径挡油帽等。泵可有通常泵(指没有扩大泵腔断面的泵)的抽气速率,并比较彻底地克服了泵的返油而获得低于10-8帕清洁超高空。因此,油扩散泵在清洁超高真空的工业生产和科学试验中又取得重要的地位。
德国LEYBOLD莱宝OB系列油扩散泵的结构:
油扩散泵主要由泵体、扩散喷嘴、蒸气导管、油锅、加热器、扩散器、冷却系统和喷射喷嘴等部分组成。当油扩散泵用前级泵预抽到低于1帕真空时,油锅可开始加热。沸腾时喷嘴喷出高速的蒸气流,热运动的气体分子扩散到蒸气流中,与定向运动的油蒸气分子碰撞。气体分子因此而获得动量,产生和油蒸气分子运动方向相同的定向流动。到前级,油蒸气被冷凝,释出气体分子,即被前级泵抽走而达到抽气目的。
使用德国LEYBOLD莱宝OB系列油扩散泵主要有哪些问题呢?
德国LEYBOLD莱宝OB系列油扩散泵真空系统的污染物来源:
(1)扩散泵油蒸汽的返流。这是最重大的污染源。
(2)系统中的零部件,在装配时用有油的手拿。用有油污的手套拿,这样粘染的有机分子可以造成系统内的污染。
(3)前级油封机械泵油的返流。这个问题也很严重,当入口压力较高时,在达到过渡区(1~10-1Pa)压力时,机械泵的油蒸汽即可直接进入扩散泵内,对系统直接进行污染。很多真空工艺过程的污染来自机械泵返油。当停机械泵时如不及时向泵内放大气,机械泵油可直接返到扩散泵油锅内。当扩散泵起动时对系统的污染更为严重。
(4)抽气系统中密封材料的放气造成的污染。特别是人造橡胶密封圈,密封油脂,润滑油等,也同样造成严重的污染。
(5)当停泵后放大气时,使真空零部件在空气中粘污上水蒸汽,油烟等,造成对真空系统的污染。
希望以上的德国LEYBOLD莱宝OB系列油扩散泵资料可以帮助到大家,如有不同意见,请电联我们。

标签: 德国
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