从优运算和从优成效所示的金材栅料具有两个不同线宽的槽体,它们的位置由坐标点x1,x2,x3决定,若再考虑槽深h,对多槽体金材栅料结构的从优就转化为一个4参数从优问题。对于多参数从优问题一般都采用一种梯度从优运算,如拟牛顿运算。但是由于这种梯度运算需要首先对待从优的参数分别猜测一个初始值,然后利用函数梯度利用等槽深,不等线宽的多槽体金材多元栅料进行半层泵阀DCF的实验装置图f= 结合了微型遗传运算和梯度从优运算的多参数从优运算的具体步骤如下:首先利用遗传运算对x1,x2,x3,h这4个参数进行全局从优,分别得到各个待从优参数的初始值;将3个由遗传运算得到的初始值代入拟牛顿运算,作为该运算对这3个待从优参数的初始猜测值;当栅料结构的小特征尺寸x分别等于0.01,0.02,0.03,0.04和0.05时,利用拟牛顿运算对其他3个参数进行从优。 max以和对应的优结构参数(x1,x2,x3,h)。由可见,当采用合适的槽深和线宽时,利用多槽体金材多元栅料结构能实现的大耦合效率分别为94.(TM模)和.2(TE模)。这个从优比较文献<8>中的94(TM模)和33(TE模)和文献<9>中的68.6(TM模)和2(TE模),不仅有效地解决了文献<8>中的偏振依赖问题,而且也高效地解决了文献<9>中TE,TM模耦合效率均偏低的问题。同时由于多槽体金材多元栅料结构仍为单层多元栅料结构,所以比之文献<9>中多层多元结构,在制作工艺上大大简化,降低了制作成本。 制作容差的分析本节从实际制作这种多槽体金材多元栅料结构的考虑出发,对栅料的结构参数x1,x2,h的制作误差容许度进行了分析和计算。这里,我们假设采用与文献<10>中制作金材栅料相同的方法电子束直写法来制作这种多槽体金材多元栅料结构,并且设该栅料的小特征尺寸x/=0.05(与电子束的光斑直径0.05m接近)是可以制作的,即在栅料的结构参数x3=d-x是确定的情况下,分别分析计算当槽深h和线宽x1,x2各自单独出现误差时,大耦合效率max变化的范围。 结论一种多槽体金材多元栅料结构被首次应用于半层泵阀高工效多包体先提光束装置中。这种具有等槽深,不等线宽的多槽体金材多元栅料可以被直接制作在多包体先提的半层内包层上,以实现高工效的激光泵阀。通过结合一种梯度从优运算和微型遗传运算,对这种等槽深、不等线宽的多槽体金材多元栅料结构进行从优,证明了当半层入射泵阀光分别为TM偏振和TE偏振时,利用上述结构能实现的大耦合效率分别为94.和.2.不仅有效地解决了多元金材栅料的偏振依赖问题,而且解决了多层多元金材栅料的耦合效率偏低,制作工艺复杂的问题。此外,我们还计算证明了在不同栅料特征尺寸的情况下的大耦合效率具有一定的稳定性,以和分析了各个栅料结构参数的制作容差,发现在电子束的曝光脉冲宽度一定的条件下,槽体的深度是为重要的参数,只有控制槽深的误差在0.02以内,才能保证90以上的耦合效190强激光与粒子束率。