在高效真空机组中有扩散泵超高真空机组、分子泵超高真空机组和干式无油真空机组,它们工作的真空度可在10-5Pa以上的,特别是干式无油真空机组性能特点高出一筹。
1、主泵极限真空度高,在10-7~10-8pa以上。
2、能经受200~450℃的高温烘烤。
3、主泵返流气体的分压力很低。
4、对被抽气体选择性强的主泵,要配备足够大的辅助泵。
5、要求真空室、管道、阀门等部件的材料出气率很低,漏气率很小。
不用油做工作液和不用有机材料密封的真空机组称为干式无油真空机组。常用的主泵有低温泵、钛泵、溅射离子泵等,可得到极限真空度10-7~10-8Pa。与有油真空机组比较,它有如下优点:
1、可获得清洁真空、无污染源。
2、当无油真空泵启动后,即可隔离预抽泵。
3、如突然抽气停止,不会污染系统。
4、无油、无声、无振动,改善了工作环境。
5、极限真空度高,抽速大,抽气时间短。
上海岩湖真空泵厂生产的干式无油真空机组由无油干泵作为前级泵,罗茨真空泵作为主泵串联而成,综合了两种泵的优点,其真空机组系列结构紧凑,运行可靠,可以长时间获得稳定真空。广泛应用于真空蒸馏、分子蒸馏等用于抽富含酒精、汽油、水蒸汽等特殊环境。