更低的极限压力的复合分子泵诞生

　　纪80年代初期，随着微电子工业的发展，具有大抽气量和更低的极限压力的复合分子泵诞生了。在复合分子泵中的牵引级又开始利用了盘型分子泵。这主要是盘型分子泵与涡轮分子泵组合可以相互弥补不足。为了使盘型复合分子泵的性能进一步提高，对抽气通道内气体的输运行为进行模拟分析是十分重要的。此后，人们将相当多的努力投入到对抽气通道稀薄气体流动的研究中。储继国于年提出了由涡轮分子泵和组成的复合分子泵。采用矩方程方法，研究了在自由分子流态下的抽气性能。他们发现性能强烈的依赖转速和几何参数。巴德纯等利用分子气体动力学的理论对抽气通道内气体的输运行为进行模拟，建立了新的流动数学模型，计算出了过渡流态抽气通道内的压力场和速度场，推导出了过渡流态下盘型分子泵抽气系数的理论计算公式，并讨论了影响抽气系数的因素。采用阳方法研究单级转子一转子组合的连续流，采用的是无滑移边界条件和能量方程的一方程。有限差分近似被采用求解带一网格系统的运输方程。但是，发现一方程在分子过渡区不能有效的预测的性能。通过同时使用方法和第二边界条件下的一方程数字化研究了分子的过渡流和滑流态。以上的研究中，除了等的研究外，大多数的先前的数值研究考虑的仅仅是半级，盘型分子泵的抽气特性进行了模拟研究，并讨论了盘型分子泵通道几何参数对流动特性的影响。全国真空冶金与衰面工租学术研讨会会谈论文集指出了通过改变泵的尺寸参数提高抽气系数的途径。后，进行了实验研究和模拟研究结果的对比，证明模拟计算结果在允许的误差范围内。同年和采用方法研究了稳态和非稳态领域的单级盘型拖动泵。考虑了两种不同类型的泵一种是转子转子组合，另一种是转子一定子的组合。为了验证数值结果做了一些实验。数值结果和实验数据之间有好的一致性。盘型分子拖动泵的几何结构及试验装几何结构单级宾型的几何结构。目前的研究中，转子一转子和转子一定子的配置都加以考虑。在配置中，螺旋通道做在转子和定子上，在配置中，螺旋通道都做在转盘，的上下面上。