岛津，0样品面处理装置真空系统故障维修吴杰福建省测试技术研究所，福建福州3500032样品面处理装置是岛津公司为810电子探针样品面进行喷金处理装置，其主要包括抽真空系统和喷金电流控制系统，抽真空系统由机械泵和油扩散组成，真空故障现象高真空计，当真空度达到定值后，61指针左右摆动剧烈，随后真空度掉下来，指针上不去。
故障分析岛津六2样品面处理装置抽真空系统1.
其工作流程先由机械泵抽真空，当真空达到31午3左右时，1打开，油扩散泵开始工作，抽高真空，当真空达到1.时朽叫，高真空计印以1开始检测1叼邮真空规主体部分也真空规前级部分十日殓叩真空规形阀25电磁阀口油扩散泵阡机械泵真空度，真空程序电路的功能是测量真空度管理电磁阀门的动作程序及对真空系统进行自动保护等，从低真空到高真空，电路进行自动控制，直至达到应用真空条件，并进行保持和保护。
从故障现象上看，61叩指针摆动剧烈，不象是真空泄漏，故障应该从在真空检测电路上，真空度检测器共有个，个，叩高真空机，两个；低真空规，由于高真空情况下，1指针左右摆动剧烈，随后真空度掉下来，指针上不去，而朽工作正常，因此着重检，6郎叫的电路部分，这部分的电路结构2，61规的高压电源由变压器了2提供，6规检测的信号由丁1电压的监测，发现这点电压与真空指示指针的变化样，因此故障在丁，1点之前，进步排除外围可能存在故障后，检，6规，发现，6规里边有许多黑色的碎屑，用点子探针检测发现它是电离规电级上部分脱落的镍，在高电压下，由于它的放电，弓1起，6叩指针的摆动，经过清洗后，仪器恢复正常。
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