等有关方面进行些讨论；会对真空灭弧室的生产开发有所帮助。
在真空灭弧室的生产中，管内真空度质量特别重要；在丁序设置工艺流程方面都分，注。本文针对真空度质显讨论真空灭弧室零件的预除气和储存等问，供生产者参考。
1真空灭弧室零件的预除气状况真空灭弧室零件的预除气般在工艺流程中是有所体现的，但专为零件预除气设置工序还需要从质量和成本上权衡考虑。因为电镀件烧氢和动静异电杆组件的真空钎焊都能起到定的预除气作用。但是这些没有明确预除气目的的，序与专门设置的预除气工序无论在除气温度和保温时间上都存在着较大差距，闪而也不能取得佳效果。
现迮绝大多数陶瓷管壳的真空灭弧室都采铜铬触头和次封排工艺，排氕和封口次完成，这就降低成本，提了效率。在工艺条件好工艺规范合理且衔接紧凑，洱加上后续电压和电流老炼的处理，能使产品获得较好工艺衔接不那么紧凑，要想使产品获得较好的稳态真空度，往往靠后续工序反复地进行老炼处理；但足，老炼的效果也与前期工艺关系密切，有些产品经反复电正和电流老炼处理也达不到出厂产品稳态真空度的要求，降低了这些工序的成品率和生产效率。笔者认为，可以通过零件的预除气和储存得以改善特别是对些耐高压型号的产品。从总体看，零件的预除气增加了成本，但在后续工序上会降低成本，特别是在提优质品率方面会显出高效2真空灭弧室零件的气体吸附真空火弧室铜铬触头含气，是相当高的，占真空灭弧室零件总的大部分吸气量我国50触头材料的含气量为400500父6质量比，含量为40501质量比，相当子，2的原子含量为1450，1812，原子数比和付2的原子含量为166，207，6原子数比。总的气体含量接近200，原子数比；国外有些，10材料含气量也高达1000，106质量比。虽然在铜铬触头材料生产加和零件存放时，特别注意污染问，但铜零件还是优选烧2处理工艺。因为2对无氧铜面氧化物的还原能力强，生产效率。
同等作区的炉子，只2炉开炉时间只需效真空炉的分之；再其次，2炉设备简革操作方便维护费用低设备便宜，对真空灭弧室的无氧铜的触头托触头座动和静导电杆零件材料的预除气可在组怍真空钎焊中完成。在组件钎焊中，焊料熔化前，意识地延长保温时间也可收到预期效浓。
时，不锈钢波纹管的疲劳寿命会急剧降低3因此工艺流程中，要尽量使不锈钢波纹管的加热温度不超过700机械寿命倍数铜铬触头零件的材料是由铜铬材料用粉末冶金方法制成，该材料所含的气体主要足，2和，触头材料中的气体可以单质态或化合态存在。铜对，2和1的糸和力都不大，内而铜基触头材料中，2和要以单质态存在。，2和铬有很强的亲合力，2在铜铬触头材料中主要以化合态存在。测量和计算明，在般的真空条件下，铜中的0和铭中的N2在燃弧2200尺时是以甩质的形式逸出的，铭中的，2是以氧化物的形式逸出的。也就是说，在100，韵滤∫，雇，醮ネ凡牧现械末，3分解出单质，2足不可能的。对子铜铬触头零件材料的预除气只要按铜材料处理规范进行即可，但无论铜铬触头的预除气还是铜铬触头组件的钎焊，都需要在升温过程中，比常规除气更高的真空环境要求，出炉的温度不要于40，苑栏蹉G化。
铬对2有较高的吸附能，因而铜铬触头在批量生产中往往不能宗全避免。我们通过仔细分析试制生产记录，发现真空钎焊的铜铬触头组件若工艺规范得当使用及时，制成的管子稳态真空度比较好。因此，真空钎焊具有预除气效果。
真空灭弧室铜铬触头含气成分主要以，2和。为主，但与铜铬4产生化学吸附的气体还22，卢尸。铜和铬材料对于N2，C，C0，C02及碳氢化合物的化学吸附热都比较，因此，铜铬触头烧氢足不可取的。
金属零件除气时碰到的主要闲难不在于它会放出大量气体，而足在尸，以及溶解在金属零件内部的其它气体1外扩散是个缓慢的过程。对下吸附热较大的气体，解吸需要较高的温度和较氏的保温时间。
零件去，时的气体可以分成3类，活泼进金属中铜是例外，它不能溶解氮。惰性气体，如六1和它们的原子有对称牢间的电，壳层，不易和其它电子结合。复杂性气体，如142，及碳氢化合物，虽然它们属户活性气体，但是它们的分子尺才较大，不能进入金属内部。由此可知，只22这3种气体能被金属溶解。
当金属陶瓷结构的真空灭弧室采用次封排工艺时，由于管内零件除气时排气通道过小封排升温曲线又必须，时满足管内零件除气和封口钎焊的两个要求，还要考虑生产效率，这就很难同时满足对管内不同材料不同处理状况零件的理想去气要求。
3真空灭弧室零件的预除气真空器件的制造过程中，通常零件要在化学清洗后进行真空预除气或烧12处理。烧只2物，并用扎替代吸附的，和比等气体，出在排气时容易被排除。真空预除气是在高真空度般优于，中加热金属零件，以除去零件面残留的脏物和零件深层吸附的气体。
3.1金属件预除气从批量生产提高效率降低成本考虑，无氧3.，蝎恭写零件预除气不得烧H2，不得在H气氛中进行钎焊。
对子有电镀层经烧只2处理过的零件也无须进行预除气。工艺技术人记在生产中，应该特别关注工件在热处理后储存条件和储存时间，以保证具空度质量好的零件尽快地使到即将封排的整管上。
3.2陶瓷件预除气陶瓷成分中氧化物在温度于时也，保，牌，咳鲇谑匝，谋砻娌悖，胧匝，奶寤，万亓抗叵挡，大。即仅仅与约2，41厚的面层析出的气体有关，这些气体存在于气孔玻璃相结晶相之中，这就是陶瓷和金属例如，不同之处，金属的放气来自材料整体。
陶瓷零件和陶瓷金属封接件在装人器件之前，在化学清洗后，为去除污物，经常进行热处理素烧。这样的操作可以使真空致密陶瓷的放气量减少到23，12.
真空致密陶瓷放气的上要原因是工作环境中吸附于陶瓷零件面的空气介质的解吸以及终清洗完成之后残留于陶瓷零件面某些物质的分解。
基于上述论点，瓷壳预除气的参考规范士炉烧比温度950，N鲁0爪他。真空炉真空预除气温度900，N鲁0爪此。在7001以下升温速度不要于5800以上降温速度不要高干20Cmim保证瓷壳不会炸裂。升温曲线各段的深温时间，可根据装载零件的数量予以确定。
4真空灭弧室零件的储存无论清洗过的零件，还是预除气或钎焊后金属上氧化物薄膜增长的物理机理是随着氧化薄膜厚度的增加达到零点几个纳米时被吸附的0原子减少，甚至使金属氧化过程完全停止；如果氧化薄膜增加到这种厚度再提高温度，那么金属离子经过氧化层的扩散又重新增强，氧化膜厚度将进步增加，不过它现在是个热激活的过程。控制激活温度对防止零件气体吸附有定的作用，零件的储存温度不应高于零件材料的激活温度。金属33的激活温度是40.当缺乏物理根据时可以认为电，空金属材料的激活温度与金属133的激活温度差不多，因此也可以认为金属零件的储存温度应低于4 0，U飧鑫露纫彩窃こ，⑶ズ覆考，忧饴，驼婵章，鍪惫ぜ，露妊≡竦，依据。在真空电子企业中，般出炉温度定在低干6 0，粤悴考，脑こ，⑶ズ赶匀蛔闵辛艘恍，试验资料明付2对干铜和铬的亲合力都较弱，能充高纯付2的具空炉可提高降温速度，而不会影响预除气的效果。比如在1左右充人高纯N2压力约30kPa，纯度优于金属零件被破坏造成的面缺陷对金属上氧化物薄膜的发展起着大作用。有趣的赴，用电解抛光和退火制作的样品对氧化作用比较稳定；而样品被尼龙绸擦拭以后这似乎不会损伤面氧化速度就有明，增加。保存零件时，应注意不损坏零件的面状态。
经过较温度较高真空度较长时间真空预除气和露点较低的烧H零件，可以认为具有个被还原成原子清洁度的优质金属面。它在和空气接触的短暂时间内几分钟，就不可避免地覆盖上层几纳米厚的氧化层。
如果环境较好，大约要经过几百小时氧化膜的增长才会停止，氧化膜的厚度约为4.5出。这时铽化膜是透明的，零件仍保持着金属本色；如果环境不好，化膜会在零件上迅速增长，在零件面出现各种氧化色彩，氧化膜的厚度约为40501迎。厚度不大的氧化膜的危害是极大的，它增强了面吸附性能，降低了，洁该及时将零部件储在专用柜中，避免闱化膜在零件面迅速增长。
在工厂生产线上，真空灭弧室的零件清洗预处理次清洗特别足装配和次封排1序的环境条件较好，大都具备优干万级十万级。在这样的环境下，短时间的存放，对零件面氧化的影响不会很大。但是个电真空器件生产厂，对零件的储存期都应该有明确规定。对于清洁零部件如果使用等待时超过24以上的，就应该在专用的容器内储存，如波纹管封接环静和动导电杆等；特别是触头吸气剂等多孔性材料；周转数鼋比较大需要较长时间存放的材料就需要适当配备专用零件储存柜。
专用储存柜的容器要求是金属或玻璃的，容积适，密封性较好使用方便甚至可以做成可移动的能抽真空13左右可通入高纯N2或A，因为气体纯度优于99.995，压力约30口3.管道不能橡胶等有机材料，囡为气体通过这些管道会使它的露点升高，有机物还会污染容器。
优质零部件储存桁，可以方便效合理5结束语合理地选择不同材料零件的预除气规范工艺与应用嘱漏和方法，可以实现预除气的佳效果。
不能及时使用洁洗过的和预除气的零件，储存方法将决定零件的真空品质。
零件预除气和零件储存的操作中，避免污染零件。
零件预除气和零件储存应在零件试配整修后进行。
对于已经预除气的零部件，应及时标识。
生产工艺技术人员，用真空品质好的零部件装配整管，是整管获得较好稳态真空度的可靠保证。
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