罗茨真空泵的溢流阀与旁通阀的组合

　　罗茨真空泵的溢流阀与旁通阀的组合周宝洪（上海博汇真空设备有限公司，上海200041）合阀，罗茨泵的功能将更加完备：罗茨真空泵；溢流阀；旁通组合阀罗茨真空泵（以下简称罗茨泵作为中真空的增压泵，溢流与旁通是两个重要功能，过去把溢流阀误称旁通阀，实际上罗茨泵本身并无旁通的功能，只有通过本文的介绍，将溢流阀进行改造设计，才把这两个功能很好地结合在一起提前起动罗茨泵，这当然可以提高一些抽速，但从罗茨泵零流量压缩比特性和抽速特性曲线上可以看到在6<103Pa（45Ton.）时抽速已不多了，到104Pa时，已作用不大了，过去把罗茨泵定在1tfPa左右起动，压缩比达30，抽速近五十，罗茨泵的功能明显反映了出来，这是很科学的。试图提前起动，甚至与前级泵同时起动，尽管溢流阀起作用，但此时的罗茨泵功率显然是很大，罗茨泵的损伤是不言而喻的，以此来取代旁通显然是得不偿失的。只有把溢流和旁通很好结合起来才能真正实现“旁通'那才是好的办法1溢流和旁通的各自功能因为罗茨泵从十几托到中真空范围作增压之用，以减少功耗提高抽速，达到节能的作用。它选择的功率与之相匹配，电动机选择得比较小，而当罗茨泵起动时，尤其是在没有达到预真空值时，将使电动机严重超荷，甚至使电动机烧坏有了溢流阀，若压差太大时，阀就起跳，使罗茨泵过高的排压返回到进气一侧，达到减荷的目的，从而起到保护电动机的作甩而旁通则不然，其工作原理见在罗茨泵的进气侧与排气侧，另设一旁路通道，让预抽真空泵与工作室相通，管道中装了截止阀预真空泵开始工作时，截止阀打开，直接通过旁路管道抽气，当预抽到一定值后即10Torr左右，关闭截止阀，然后起动罗茨泵旁通的目的是减少预真空时间，提高生产效率，作为生产周期较短的大型真空系统，这一功能是至关重要的然而，采用这一方法，对设备制造者来讲提高了生产成本，对操作者来讲是麻烦的（见）2组合阀的构造溢流阀有多种结构，有采用弹簧压着阀盖的，也有干脆采用自重式的，总之溢流阀的结构很简单。为了达到旁通的目的，在溢流阀的法兰体上开出孔道，平面上装上逆止阀片弹簧的弹力不宜过大，让阀片与平面能接触即可。孔道面积大小与前级泵相匹配，因为预真空阶段仅在粘滞流态的粗真空范围，不必太大安装阀片的盖板尺寸，应小于罗茨泵溢流阀原通道口径，使逆止阀通过该孔径能很顺畅其工作原理见通过上述方法，就可把溢流和旁通两种功能很好地结合在一起了。当预真空开始时，逆止阀片打开，使预抽泵与真空室得到了连通如果压差太大，溢流阀仍起着原来的作用，把逆止阀一起带动跳起罗茨泵起动后，进气侧的压力始终比排气侧低，所以逆止阀相应得到很好的关闭。这种逆止阀开闭并不频繁，使用寿命可想是足够长的。

　　3结束语组合阀把溢流和旁通两个功能结合在一起，提高了罗茨泵的技术含量。从工艺上讲，实施很方便1.盖板2.密封圈3.阀芯4.阀体5.密封圈6.阀片7.弹簧8.旁通阀盖（固定螺钉）9.泵体1tt转子旁通与溢流双功能组合阀原理结构图简化了机组结构，方便用户操作，节约生产成本旁通管路设置的成本至少相当于一两台小型真空泵因此该设计的社会效益和经济效益都是十分明显的通过组合阀的应用，罗茨泵的取型应定为ZJP/YXX，这样才符合罗茨泵产品型号的技术内涵