无油机械真空泵又称干泵，这种泵无任何工作液。因此能保证被抽空间清洁，对周围环境没有污染，有人称之为“绿色”真空泵。使用它可以提高产品质量。例如，显像管内无油污染能保证阴极发射稳定，图像清晰，使用寿命长；镀膜室内无油，能提高膜层性能，增加膜层牢固度等。因此无油机械真空泵适用于真空电子行业。
本文所介绍的无油机械真空泵均指直排大气的泵。所谓无油是指在泵腔内不使用油类和液体，而传动的齿轮和轴承还需要油类润滑，只是油蒸气不允许进入泵的吸气口。
1无油机械真空泵的种类无油机械真空泵的种类很多，按泵的结构，可分成接触式和非接触式两大类。接触式是指泵的运动件与静止件之间有接触、摩擦，如旋片泵、活塞泵等，其大压缩比随压力大小无大幅度变化，在接近大气压时比非接触式压缩比大。非接触式是指泵的两运动件之间或运动件与静止件之间没有任何接触，转子需要高速旋转，如罗茨泵、爪型泵、螺旋型泵等，其大压缩比随压力变化而变化，接近大气压状态时，压缩比很小，因此需要多级组合抽气。比较科学的方法应该是按泵的工作原理划分泵的种类，通常：2002-0326研和教学工作。可分成容积型和动量传输型两大类，每一类里还包括几种不同形式的泵，如所示111.几种主要泵的性能比较如表1所示。
无油机械真空泵。*；容积型动量传输型往回挹式图i无油机械真空泵的种类2往复活塞型无油机械真空泵活塞型无油机械真空泵结构简单、加工容易、性能可靠、使用方便。这种泵的性能和部分生产厂家如表2所示，典型结构如所示。
表1几种无油机械真空泵的性能比较泵型- -般级数单级压缩比极限压力备注大气端真空端罗茨泵易发热，需冷却爪型加工、装配有难度活塞型怕抽带颗粒的气体涡旋型间隙小、难装调螺旋型间隙小、转速高旋片型怕抽带颗粒的气体螺杆型加工比较困难涡轮型多级串联转速高表2活塞型无油真空泵概况型号生产厂家极限压力/Pa排气压力/Pa抽速/Ls-丨转数/min-丨功率"（W主要特点DVP-500DVP-1000Varian（美国）7. 120用方便，易于维修，运转费用低FujiTech单缸2.661X1053.33 251.626一个缸上可以实现Inc（日本）双缸0.027三级压缩GAST密西根WL-50上海真空泵厂温州工业泵厂46601.5X1作卧式，真空度不高A立式，半无油，7水冷，结构复杂LVP-100 LVP-200泰兴特种泵厂13061. 5X1375性能稳定WYA个人专利6⑴8001. 22.0泵性能不稳定HWZ-4鞍山无油空压机有限公司6001.5X1作4896144空冷，V型，无十字头，噪声较大阴转子按顺时针旋转，为从动转子，图中转子端面是吸气面，机壳上有特定形状的吸气口，如图中粗实线所示。
典型活塞型无油机械泵结构示意图为三级4腔泵，1，2腔为并联，当入口在高压力区12腔可通过辅助排气阀直接向大气中排气，当入口压力下降到不能推开辅助排气阀时，三级4腔才串联压缩。这种泵的主要缺点除不能抽出带颗粒的气体外，其寿命受到活塞和吸排气阀寿命的影响，需要定期更换。
3螺杆型无油机械真空泵螺杆式与活塞式真空泵都属于容积式真空泵。
其主要优点是：①零部件少，没有易损件，因而寿命长；②动平衡性好，没有不平衡惯性力，工作平稳；③无喘振现象，实现连续排气；④可以抽除含水蒸气、粉尘的气体。主要缺点是造价高，转子齿面是一空间曲面，需利用特制刀具和专用机床；气缸的加工精度要求也高。
螺杆式无油真空泵的工作循环可分为吸气、压缩和排气3个过程。随着转子旋转，一对齿的工作循环可表示为：吸气过程如所示，所研究的一对齿用箭头标出，图中阳转子按逆时针旋转，为主动转子，螺杆式无油真空泵吸气过程图中（a）表示一对齿前端型线完全嗤合。随着转子转动，逐渐脱离啮合，形成了齿间容积，内部形成了一定的真空，气体在压差作用下，从吸气口流入齿间容积，如图）中阴影部分所示。随着转子旋转，齿间容积不断扩大，并与吸气口保持相通，其过程有如活塞（阳转子）在气缸（阴转子）中滑动吸气。
吸气结束时的转子位置如图（）所示，此时齿间容积达大值，齿间容积与吸气孔口断开。
压缩过程示出螺杆泵的压缩过程。
图中转子端面是排气端，机壳上的排气口如图实线所示，阳转子顺时针旋转，阴转子逆时针旋转。图中（a）示出压缩过程即将开始时的转子位置，气体被转子齿和机壳包围在一个封闭的空间中，齿间容积由转子齿的啮合开始减小。
随着转子旋转（如图（b）），齿间容积不断减小，导致压力升高，实现气体的压缩过程，一直到图（c）中的位置，齿间容积即将与排气口相通。
排气过程如所示，齿间容积与排气口相通，随着转子旋转，齿间容积继续减小，具有排气压力的气体逐渐通过排气口排出。这个过程一直到齿末端型线完全啮合，封闭的齿间容积变为零。
螺杆式无油真空泵的排气过程这种泵故障率低、寿命长，给用户带来方便，受使用者欢迎。但因螺杆型线复杂，加工困难，成本较高，市场售价偏高。
典型螺杆泵的性能列于表3郑新，熊晓楠等。脉冲雷达发射机频谱控制的研究。
强伯涵，魏智。现代雷达发射机的理论设计和实践。
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