目前精密加工技术不再是一种孤立的加工方法和单纯的工艺问既而成为一项包括内容极其广泛的系统工程。实现超精密加工,不仅带要超精密的机床设备和工具,也需要超稳定的环境条他还需要运用计算技术进行实时检测和反馈补偿。 模具制造商的实际操作中看一些关于精密加工和超精密加工的简单介绍: 1) 超精密切削加工:如采用金刚石
刀具进行超精密切削,加工各种镜面。它成功地解决于用于激光核聚变系统和天体望远镜中的大型抛物面的加工。 2) 超精密磨削和磨料加工:如高密度硬磁盘的涂程友面加工和大规模集成电路基片的加工。 3) 精密特种加工:如在大规模集成电路芯片上,采用电子束、离子束的刻蚀方法制造图形,目前可以实现的最小线宽为0.1。 通过以上实践证明只有将各个领域的技术成就集结起来,才有可能实现和发展超精密加工。