扩散硅压力传感器原理及应用

来源:网络  作者:网络转载   2019-10-08 阅读:763
扩散硅压力传感器原理及应用  被测介质的压力直接作用于传感器的膜片上(不锈钢或陶瓷), 使膜片产生与介质压力成正比的微位移,使传感器的电阻值发生变化,和用电子线路检测这一变化,并转换输出一个对应于这一压力的标准测量信号。  

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标签: 扩散
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