1. 插入选区光栏,套住欲分析的物相,调整中间镜电流使选区光栏边缘清晰,此时选区光栏平面与中间镜物平面生重合;
2. 调整物镜电流,使选区内物象清晰,此时样品的一次象正好落在选区光栏平面上,即物镜象平面,中间镜物面,光栏面三面重合;
3. 抽出物镜光栏,减弱中间镜电流,使中间镜物平面移到物镜背焦面,荧光屏上可观察到放大的电子衍射花样
4. 用中间镜旋钮调节中间镜电流,使中心斑zui小zui园,其余斑点明锐,此时中间镜物面与物镜背焦面相重合。
5. 减弱第二聚光镜电流,使投影到样品上 的入射束散焦(近似平行束),摄照(30s左右)