光谱共焦传感器是一种精度可达次微纳米量级的非接触式位移量测系统,可测量漫反射/镜面反射及透明多层材质的位移,厚度,也适合深孔/盲孔工件等运用。
光谱共焦传感器特點:
1非接觸式光學共焦測量技術, 具有超高分辨率及同光軸回傳訊號不會被遮擋之特性
2光纖傳輸彩色編碼測頭設計, 其結構輕巧且內部不含電子零件而不受環境干擾影響
3採用白光(可見光)光源系統, 相較激光光源而言安全防護要求低
4獨特多層材質量測演算法, 可量測透明/半透明多層材質間之厚度或間隙
光谱共焦传感器/光谱共焦
優勢:
1 穩定量測各類材質, 例如金屬/陶瓷/鏡面/玻璃等
2 適用於各種工件形貌(包含深孔/斜面/弧面)之特徵尺寸量測, 例如高度/段差/厚度/平面度/輪廓度等
3 高溫高壓等嚴苛操作條件下亦能適應正常使用
光谱共焦传感器与普通激光位移传感器区别
光谱共焦位移传感器采用白光作为测量介质,而激光位移传感器采用的是激光。从原理来讲,光谱共焦位移传感器可以直接照射被测物体,由于白色混合光包含各个颜色的光谱,且在透镜下会产生色散效应,距离探头远近不同,反射回来的光颜色会不一样。zui远端是红色,zui近端是紫色。传感器靠区分反射光的颜色就可以知道被测物体距离探头的远近距离了。
激光位移传感器有几种,包括三角反射式的,脉冲时间差式的,还有相位差式的。
总的来讲光谱共焦位移传感器精度更高,光斑更小,测量更精细,但价格更贵且调节起来有一定技术含量。普通激光位移传感器已经应用的非常普遍了。