国防科大精密工程创新团队在国内首次研制出拥有自主知识产权的磁流变、离子束两种超精抛光装备，创造了中国光学零件加工亚纳米的“中国精度”奇迹，有力支撑了“极大规模集成电路制造装备与成套工艺”等3个国家重大科技专项创新突破，3年来为国家创造直接经济效益2亿多元。
国防科大精密工程创新团队在国内首次研制出拥有自主知识产权的磁流变、离子束两种超精抛光装备，创造了中国光学零件加工亚纳米的“中国精度”奇迹，有力支撑了“极大规模集成电路制造装备与成套工艺”等3个国家重大科技专项创新突破，3年来为国家创造直接经济效益2亿多元。
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