触头超行程是从动静触头开始接触起，至合闸结束止的距离，即动静触头直接接触的行程。它的作用是：保证触头在磨损后仍能保持一定的接触压力和可靠的接触；在分闸时，使动触头获得一定的初始加速度和拉断触头的烧焊点；在合闸时，可减轻动触头对静触头的冲击力。通常，真空开关的超行程只取触头开距的15～40%左右。例如：ZNK-6/630～100型矿用高压真空断路器的触头开距为9±1mm超行程3mm.触头开距、超行程是真空开关的两个重要指标，现场维护时应特别重视，尤其象煤水泵这样大容量（配用电动机1250kW）、启动频繁（每天启动20次左右，特殊时达30次以上）的大电机，更应按规定的开距、超行程进行调整。该矿是按每月为一检修周期进行调整的。如果认真按规定的检修周期对触头的开距、超行程和接触电阻进行调试、测量，能大大减少电动机损毁率。
根据使用真空开关的经验，对于象煤水泵这样大容量、频繁启动的高压电机，使用真空开关具有维修量小、配件消耗低、安全可靠等特点。但高压真空开关柜内只设有真空断路器，厂家规定电寿命一万次，实际使用电寿命远远达不到一万次。为提高电寿命，高压真空开关柜内应设有真空断路器和真空接触器各一组，串联使用。真空断路器可作为保护用，切断事故电流。真空接触器（电寿命10万次）可作为频繁启动用。这样，即达到保护齐全，又可提高电寿命的目的。
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