各种超精密加工及测量装置的核心和基础

　　超精密技术作为机械工业的一大支柱，所涉及的范围不仅仅限于光学仪器、尖端武器，而且已扩大到诸如多面镜、磁盘、人工关节骨头等超精密切削，模具自由曲面的超精密轮磨，大规模集成电路之微细加工，电子束绘图与超大规模集成电路制造设备所必需的精密定位技术以及超精密测量技术等领域。

　　超精密定位技术是发展超精密技术的关键，也是各种超精密加工及测量装置的核心和基础，而其核心设备为精密微位移工作台定位系统。国内外在精密微位移工作台定位系统方面的研究，都未能很好地解决量程和定位精度这二者之间的关系。为此我们经过对各种机构型的比较，采用了一种新型传动机构型???光杆螺旋传动机构。

　　压紧轮通过压缩弹簧使三个滚动轴承与光杆产生接触力；主动轮的轴线与光杆轴线在空间成一交角，这一角度可调，而且一旦调定后就固定下来；随动轮及压紧轮与光杆轴线的空间交角随主动轮与光杆轴线的交角而定。