2串联臂压电微电机驱动和控制原理卡电品片在外加电场的作用1将伸长或缩7短将两个极性相反的压电晶片粘接在起，形成压电双晶片。在电场的作用下，两个压电晶片分别伸长和缩短，压电双晶片发生弯曲13，在各自电场的作用下，片1伸长，片2缩短，由于两个压电晶片的相互约束，该单元向右弯曲，本文称该压电双晶片为弯曲臂。
将两个弯曲臂串联起来构成串联弯曲臂，在特定本文于2000年3月收到。
IflI串联弯曲臂自由端椭圆运动形成机理而形成串联臂压电微电机3串联臂压电微电机驱动电路如上所述，串联臂压电微电机可用相位差为兀2路可由信号发生器和放大两部分组成，信号发生器通过对单路方波信号移相产生两路相位差为；2的方波口相电路农用模拟成数宁电路如果采用模拟，相屯路，即网络，在调整信号频率时。1利用单片机作为数字信号发生电路，以保证较高的移弯曲背2电压信号动。在特定的电信号驱动下，使弯曲臂1和臂2处于不同的弯曲状态，则弯曲臂自由端依次通过2，3，4点，形成椭圆运动1切中的2，3，4点对应的弯曲臂1和弯曲臂撕控制信号如1所控制信号臂1臂2相位，为相位差为冗2的方波，波形2在中，串联弯曲臂的自由端运动到点1时，臂1和臂2的外加电压都为零，串联臂不发生弯曲；自由端运动到点2时，行1的外加电压为斗；发生弯曲。而臂2外加电压分别为时，自由端运动到点3；电压为时，自由端运动到点4所以对臂1和臂2分别加上相位差为72的偏置方波信号，将使臂1和臂2相精度和可靠性串联臂压电微电机的驱动电路由单片机信号发生电路及功率开关放大电路等部分组成，信号发生电路产生的信号，作为放大电路的控制信号，控制驱动电源率的电源下面分，介绍驱动电路的组成部分，3.1信号发生电路利用单片机的内部定时器功能就可以产生方波信号，通过单片机的外部扩展芯片及电路，可调节方波信号的频率信号发生电路可由单片机及键盘显接口芯片8279瓦1等构成，产生频率可调的方波倍号。新代551单片机的性能不断改善，提高了主振频率，在单片机输出信号较高的情况下，也能获得较高的精度。8279是专用的键盘，显控制芯片。能对显小器动描使叫它讨允分提高1工作效率。
减少方波信号的频率误差基于上述原理，设计了3的信号发生电路，1；1和锁存器构成1片机的，序存储器扩展电路，系统软件固化在如河中。通过键盘按钮可以发出调节信号频率的命令，在8279的控制下，通过显设备显频率值键盘发出的命令通过8279输出，送入单片机，1接收到命令后，转入相应的处，程序，从而改变输出信4的频率，并将该信号输从单片机输出的路方波倍14.经过次反向形成与原信号相位差为的方波信号4，两路相位相反的方波信号分别经过级上升沿触发的发器进行分频，将两发器输出上接第5页端产生的方波信号作为信号发生电路的输出信号4中的郝1由于分频前两路信号的相位差为兀，所以分频后两路信号的相位差为23！
3.2放大电路为使驱动电源有足够的功率驱动串联弯曲臂压电微电机，要采用放大电路进行功率放大驱动电路的放大部分采用常用的功率开关放大电路，即应用0，0变换电路，使用具有开关速度高损耗小驱动功率+驱动屯路简单等优点的功率场效应矜16厂了管作开关器件4，串联臂压电微电机所需的能量由直流电源提供在信号发生电路产生的两路相位差为兀2的信号分别控制下，通过两套功率开关放大电路，可实现符合串联臂压电微电机驱动功率要求4结论以压电双晶片构成的串联臂为驱动元件驱动电机转子转动分析了串联臂压电微电机的控制方法，用相位差2的两路偏置方波信号作为电机的驱动信号，并说明了驱动电路的设计方案1羽贞行，富义郎著，杨志刚，郑学伦译。超声波马达理论与应用。上海上海科学技术出版社，1998.2邵培革，曲炳郡，王立鼎。串联臂驱动压电微电机研宄。仪器3陈维山。行波超声马达的理论与实验研宄。膊士学位论文。哈尔滨工业大学。6.
4王龙建0，03场效应晶体管及其应用。电子技术，1994，2193334.
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