三坐标测量仪是一种机、电、计算机集为一体的高精密、高速的多功能测量仪器。如果保养到位，不仅可以延长机器的使用寿命，更能使测量精度得到保障。三坐标测量仪价格昂贵，保养到位还能降低机器故障率从而节省一大笔维修费用。
1.日常维护
（1）三坐标测量仪对于存放和工作环境的要求非常严格，必须每天都对设备进行清洁，每周对生产或存放场地进行一次卫生大扫除，同时也要注意清洁时尽量避免扬起灰尘，所以室内清洁要使用吸尘器，附件柜和工作台要使用脱脂棉进行清扫。
（2）三坐标测量仪使用的都是气浮轴承，所以必须保证气源的干净，不能有油、水和颗粒状杂质，如若不然就会导致气浮轴承和导轨划伤，如果气浮轴承材质不行甚至会导致气浮块生锈，后果非常严重。所以每天都要对气源放水放油，并要经常清洗过滤器和油水分离器，滤芯必要时更换。三坐标测量仪采用高精度自洁式空气轴承，运动平稳，导轨用不受磨损
（3）三坐标测量仪的导轨加工非常精密，与气浮轴承的间隙非常小，所以必须要保持大理石工作台上的清洁，不然同样会导致气浮块和导轨划伤。在清洁大理石工作台和导轨必须要使用绵绸蘸无水酒精进行清洗，一定不能随便用其它布料和纸巾进行清洗，防止一些棉絮或其它杂质进入缝隙。
2.正确的操作
有了正确的日常维护就可以很好保养仪器的各种硬件设备，但这样还是不够的，必须要学会正确的操作方法这样才能维护机器的软件设备。
（1）三坐标测量仪对温度和湿度的要求非常严格，所以开机前必须检查温度和湿度表，并且每过一段时间都要复查一遍，并做好记录。
（2）检查外设是否完好，控制系统连接是否正常
（3）检查电源、气源是否正常
（4）开机时应按照顺序，先打开气源，依次打开主电源、不间断电源、打开计算机、启动程序，启动后检查各功能键是否正常运作。
（5）各种零件在测量之前应该先去毛刺，测量时应把测量零件放在方便测量的位置，更换测头、测杆时应按下保护键，测量中应该避免主轴和测头与零件发生碰撞
（6）完成测量之后要做好清洁工作，卸下被测零件，测量仪退回原位，按顺序关机，气源和过滤器放水。
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