X射线测厚仪的日常维护，除了需要遵循一般电气设备的常规维护方法（例如 ：电气连接情况、主要电源电压的检查、各个开关的操作是否有效，这里主要讨论针对测厚仪的维护。
X射线测厚仪的每天应做的检查：
1、循环水。
循环水恒温设备主要给射线源提供相对恒定的温度环境。射线源的温度波动将直接导致射线能量的变化，致使测量结果波动。循环水温度一般设定在 20℃ ±1℃。注意检查循环水的回水流量、水温是否正常。检查回水流量要实际查看回水管出水口的水流情况，不能依据测厚仪没有水流报警就断定冷却水正常—水流开关总有损坏的时候（比如，锈蚀、因某种原因卡住了、。如果回水量明显减小了，应考虑水路是否有堵塞或漏水。为防止产生水垢堵塞、锈蚀管路，应使用纯净水灌装水箱。
2、压缩空气。
压缩空气的用途主要是吹扫射线束内的杂物、油雾等，如果压力不足，会使吹扫效果下降，影响测量结果。还有的测厚仪使用气缸驱动标样和快门。巡视设备时应检查空气压力是否符合设计要求，滤芯是否需要更换。
3、C 型架上告警灯的状态。
告警灯的状态应正确，否则说明测厚仪存在某种故障。从安全的角度考虑，即使确认测厚仪没有功能上的故障，仅仅是灯泡损坏，也应及时更换，以防止意外的辐射伤害。
4、射线窗口和探头窗口。
目视检查射线窗口和探头窗口，如有破损应及时更换窗口材料。轧制过程产生的油雾中含有粉状物（金属粉末、硅藻土粉末等，凝结在窗口上会产生油泥，相当于在射线束中插入了一层异物。油泥厚到一定程度，会使探头电压明显下降，影响测量精度，因此最好每天擦拭这两个窗口，保持清洁。
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