台阶仪属于接触式表面形貌测量仪器，而且它也被人们叫做台阶测量仪等等。它的结构十分的完美，因为在它的内部有一个功效十分强大的传感器。与此同时，台阶仪所具有的她点也比较多，主要有十分高的测量精度、测量结果也是尤其的稳定、测量里程较大以及至关重要的可重复性等等。但是，台阶仪的性能也会随着测头与测头之间的摩擦而减弱，进而降低测量精度。
那么，台阶仪的种类有哪些?接下来小编为大家简单介绍一下。
台阶仪也被人们叫做台阶测量仪，由于其内部存在一个样式不一的传感器，因此人们对台阶仪进行分类时，也习惯利用传感器的不同来进行分类，根据传感器的不同，台阶仪一般被分为电感式、压电式以及光电式的台阶仪。
其中，电感式的台阶仪测量的精度最高，但是相应的电路处理稍显复杂;同时，压电式台阶仪其灵敏度最高，结构也较为简单;光电式台阶仪则是属于较为新型的一种测量仪形式。 此外，形貌仪近年来已经受到越来越多人的青睐，而且它的使用范围也越来越广泛。
工作原理是怎样的呢
台阶仪主要的工作就是用于测量，其工作原理主要是，当其触针在被测的物体表面轻轻滑过时，接触体表面微小的峰谷就会让触针在进行滑行的同时也做一些上下运动。因此我们不难想象，触针的运动情况在一定程度上也体现了表面轮廓的情况。而当传感器输出的信号经过测量的电桥之后，输出的信号与触针的平衡位子的位移此刻成正比，调幅信号也随之出现，经过放大和整流之后，位移信号就从调幅信号中解调出来了，信号就变得相应缓慢，也就能在控制器中被读出来。随之噪音滤波器以及波度滤波器会对调制频率以及外界的干扰信号等因素进行进一步的过滤，误差所带来的影响也随之减小。
镀膜前可以用胶带（能够承受镀膜温度的胶带）把硅片的一个角落位置粘住，镀完膜后把胶带撕掉就有台阶了。台阶不一定要完全垂直的，只要看两个水平面（硅片表面和薄膜表面）的高度差就行了。如果是已经镀好的薄膜，透明薄膜和不完全透明薄膜都可以用椭偏仪测厚度，薄膜测厚仪好像也可以。如果要用台阶仪测，那就要用氢氟酸等清洗制备出台阶。
综上所诉，表面形貌测量仪器已经被人们广泛的应用于众多领域，而且由于它可以与测量物体的表面接触，所以就提高了测量结果的稳定性和准确性等等。接触式表面形貌测量仪器的种类十分的多，不过主要有三大类，分别是电感式台阶仪(其测量精度是最高的)、光电式台阶仪(一种新型的测量仪)以及压电式台阶仪(它的灵敏度是最高的)等。
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