半导体电阻率测试仪的技术指标

　　半导体电阻率测试仪是实验室检验和分析导体材料和半导体材料质量的一种重要的工具。本仪器配置各类测量装置可以测试不同材料之电阻率。半导体电阻率测试仪测试程序控制四探针测试仪进行测量并采集测试数据，把采集到的数据在计算机中加以分析，然后把测试数据以表格，图形直观地记录、显示出来。

　　半导体电阻率测试仪的技术指标:

　　电源：220V交流

　　可测晶片直径（最大）Ф100mm,方形230×220mm

　　恒流源：电流量程为0.01～1mA连续可调，误差≦±0.5%。

　　数字电压表：量程：0.1～200mV,最大分辨率：100μV

　　电阻率显示：三位半数字显示：小数点、极性、过载、自动显示0.01-199.99欧姆。厘米

　　输入抗阻：0.2mV和2mV量程：＞108Ω

　　测量精度：±0.1。

　　最大电阻测量误差（按JJG508-87进行）：0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω≤±5%读数±2个字。

　　重掺检测误差（JJG508-87进行）：1Ω≤±1%、0.5Ω≤±0.5%、0.1Ω≤±0.1%

　　测量环境：温度23±2℃，相对湿度≤65%

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