1、流量偏低(噪声大)
仪器的实际流量偏低(与设定流量不符)，且调节面板“流量校正”不起作用。仪器的泵的工作声音不平和、尖锐刺耳，查看真空泵累计工作时间，如果达到或超过600h，配用有刷电机的泵可能是碳刷磨损严重，排除方法是更换碳刷。更换碳刷时可将仪器外壳打开，旋下电机筒上的紧固螺丝，将电机提出电机筒，熔断电机上旧碳刷的接点，将新碳刷小心塞入旧碳刷的位置，并焊接好接点，原样装好电机，不带滤膜空转6h，以磨合碳刷。
2、电机失控(转速忽快忽慢)或不转
流量传感器到主板的信号线短路或插座接触不良:用万用表测量连接主板的信号线的通断情况，如短路应重新焊接、用黏胶加固，或更换引线、插座。流量传感器损坏的判断方法是：在仪器开机的情况下(使泵不转)，将传感器信号与主板断开，并测量其信号，给传感器正端加压时输出信号上升，给传感器负端加压时输出信号下降，可判断出传感器的好坏。如果采样泵配用有碳刷电机，常见故障是碳刷磨损或引线接触不良。发现碳刷磨损，更换新的碳刷。若发现焊点虚焊则重新焊接。采样泵配用无刷的电机，常见故障是引线接触不好。重新焊接或更换引线。泵配用了无刷电机，能从源头上解决了电机对控制电路的杂波干扰问题。
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