微波等离子体是在大气压环境下产生的一种微等离子体，它被广泛应用于气相色谱中原子发射光谱激发源。微波带技术的使用不仅可以将微波精确指向间隙区，同时也减少了不必要的外空间辐射损失，有利于耦合效率的提高，从而获得高密度等离子体。
那么微波等离子体的优势有哪些呢？
1.有较高的电离和分解程度；
2.电子温度和离子温度对中性气体温度之比非常高，运载气体保持合适的温度。这个特性，在气相沉积的情况下，可使基底的温度不会过高；
3.能在高气压下维持等离子体；
4.没有内部电极，在等离子容器内，没有工作气体以外的任何物质，是洁净的，无污染源。等离子发生器可以保持长寿命；
5.等离子可以采用磁约束的方法，约束在约定的空间内，微波结和磁路可以兼容；
6.安全因素高。高压源和等离子体发生器互相隔离，这是直流等离子体不能达到的。微波泄漏小，容易达到辐射安全标准。这是高频感应等离子体难以达到的；
7.微波发生器是稳定的，易控的；
8.微波等离子体，在许多情况下是一种比较宁静的等离子体，不象直流放电那样伴随很高的噪声级。
以及微波等离子体原子发射光谱仪可以运用到哪些行业中呢？
微波制茶工艺
充分发挥微波微波热效应和非热特殊效应作用，升温速度快，茶叶中的水分子在微波电磁场中被极化，使茶叶从内部深层快速升温，达到钝化酶的临界点温度，非常适合绿茶及其它特种茶的杀青和干燥作业。茶叶的有效营养成分基本不损失，而且色、香、味都大大好于传统的加工方法。
食品工业
民以食为天，食品工业是我国迅速崛起的支柱产业。利用微波可对食品进行干燥菌、熟化、焙烤、脱腥、膨化和保鲜处理。目前已用于米粉、麦片、豆奶粉、袋装、卤菜类、肉类小包装、方便面、保健茶、糕点、牛肉干、土豆片、鱼片干、盐水鸭、腰果、花生米、瓜子、大豆等许多方面的生产中。我公司每年都生产大量的微波设备应用于食品工业。
制药工业
微波技术在制药工业上的应用主要在以下几个方面：粉状、颗粒状、片状、丸状粘液状等医药制品的干燥灭菌，中草药材的快速干燥、杀虫、灭菌。中草药微波萃取，口服液的杀菌等方面
微波可对1－6公分厚的木板进行均匀、快速烘干，干燥只需十几分钟，且不开裂变 形小，同时杀死木材内部的卵虫和幼虫；也可对胶合板或拼板胶接的固化处理以及竹制品干燥、灭霉、杀菌
橡胶工业
日本用2450MHz、5～10kw对轮胎作一次加热，升温到硫化温度后用热风 保温，可硫化3～4 吨重量的轮胎；美国采用915MHz、50kw作为辐射热器利用程序控制对大型轮胎进行旋转扫描，其优点是加热均匀、硫化时间缩短三分之一。我 公司研制的微波橡胶硫化设备在造型、结构、性能、硫化质量等方面均可和日本、德国等进口设备相媲美。
杀虫灭菌
用微波可在较低温度下灭菌杀虫。可处理食品、药品、烟草、木材等，升温速度快不受物料厚度、形状影响。
脱硫
原煤中的硫以黄铁矿形式出现，黄铁矿比煤有更高的因此利用微波可使黄铁矿得到选择性加热与气体发生反应，进行脱硫。而煤不受影响。理想的方法是以持续 时间为0.1秒的脉冲波进行间歇式加热，将黄铁矿石加热到650℃的高温。这种方法去硫效果好，不需昂贵的催化剂，节省资金高，环境污染小。
微波等离子体技术
半导体生产工艺中已经采用微波等离子体技术，进行刻蚀、溅射、气相沉积、氧化硅片；还可用于金属、合金、非金属的表面处理；用于等离子体光谱分析可检测十几种元素。
医疗
微波生物效应分热效应和非热效应。其热效应在医疗方面可进行微波理疗、配合放疗和化疗进行透热治癌；另外还可以利用微波加热血浆、解冻冷藏器官；还可设计微波手术刀，开刀止血快、出血量少。
测量
微波测量精度高，适宜于生产中连续测量和已广泛用于测距、测温、测厚测速等方面。 微波可进行陶瓷的均匀致密化烧结，最高温度可达2000℃，获得大尺寸的精细陶瓷
微波在化学中有广泛的应用，如萃取、水解、催化反应等
微波等离子体原子发射光谱仪新一代成熟的微波等离子体原子发射光谱仪。低成本、安全性更好，具有更高的检测灵敏度、检测限低至亚ppb水平，速度超过火焰原子吸收，并且无需使用易燃性气体。可对范围更广的样品进行无人值守分析，而且使用革命性的空气运行技术能实现较低的使用维护成本。
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