磁力泵在湿法腐蚀清洗设备中的应用

　　磁力泵主要由泵头、磁力驱动装置和其它零部件共三部分组成。泵头部分主要由叶轮、泵体、轴承、轴套、泵盖、泵轴等零件组成；磁力驱动装置部分主要由内磁转子、外磁转子、隔离套等部件组成；其它零部件主要包括托架、底座、电机等。
　　磁力泵的工作原理：
　　当电动机带动外磁转子旋转时，磁场能穿透空气隙和非磁性物质，带动与叶轮相连的内磁转子作同步旋转，实现动力的无接触传递，将动密封转化为静密封，达到输送液体的目的。
　　磁力泵在湿法腐蚀清洗设备中主要有以下应用：
　　（1）药液的循环过滤：由磁力泵、循环溢流槽、过滤器、管件等组成药液的循环过滤系统。实现药液的循环过滤，保证工艺槽药液温度和浓度的均匀性。由于磁力泵长时间运行会引起药液一定温升，因此不适用于温控精度较高的工艺槽中。常应用于太阳能电池片酸洗、制绒、清洗等设备中。
　　（2）热水注入与喷淋：经过化学液处理后的晶片，有时需要热DI水喷淋冲洗。一般先将DI水注入至预热槽，通过加热器加热到所需供液温度后，再通过磁力泵加压输送至喷淋装置，实现对晶片的清洗。由于磁力泵轴承滑动摩擦会产生颗粒，不适用于颗粒要求高的清洗。

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