阀门类型 | 总体漏率 | 正向漏率 | 反向漏率 |
电磁真空带充气阀 | △ | △ | |
电磁高真空档板阀 | △ | △ | |
电磁高真空充气阀 | △ | ||
高真空微调阀 | △ | △ | |
高真空隔膜阀 | △ | △ | |
高真空蝶阀 | △ | ||
高真空档板阀 | △ | △ | |
高真空插板阀 | △ | ||
真空调节阀 | △ | ||
真空球阀 | △ | △ | |
超高真空档板阀 | △ | △ | |
超高真空插板阀 | △ | ||
注:△——表示进行测试 |
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电磁高真空档板阀 | △ | △ | |
电磁高真空充气阀 | △ | ||
高真空微调阀 | △ | △ | |
高真空隔膜阀 | △ | △ | |
高真空蝶阀 | △ | ||
高真空档板阀 | △ | △ | |
高真空插板阀 | △ | ||
真空调节阀 | △ | ||
真空球阀 | △ | △ | |
超高真空档板阀 | △ | △ | |
超高真空插板阀 | △ | ||
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