Holak于1969年首次将氢化物发生法用于原子吸收测定砷。他将锌放进用盐酸酸化了的试样溶液中而产生氢，然后将砷化氢收集在用液氮冷却的捕集器中。反应结束后，他将捕集器温热，用氮气流将砷化氢带入氩/氢扩散火焰中以测量砷的原子吸收。
元素周期表族第IV、V、VI族中的许多代表性元素（As、Sb、Bi、Ge、Sn、Pb、Se、Te）能与新生态氢生成挥发性共价氢化物，这种气态氢化物的优点明显地在于待测元素的分离与富集，因此可减轻甚至完全消除干扰。其发生共有两个过程：
（1）氢化物从样品溶液中释放的过程，即分析物质在酸性溶液中与氢反应转化成气态氢化物；氢化物发生必须有产生氢原子的过程，通常用金属和酸或硼氢化碱金属盐作为还原剂来实现。早期是用金属/酸体系，最常用的金属是锌，它与盐酸反应生成新生态的氢，而将分析物质还原成氢化物。
（2）溶液中释出的气态氢话物由载气送入原子化器或离子化器。
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