综合回收锗的方法很多，常用的是氯化蒸馏的经典方法。该法是使原料中的锗转入硫酸溶液，加入单宁得单宁锗沉淀物，经氧化焙烧脱砷及脱有害物后，在83～100℃下氯化蒸馏得GeCl4。在氯化蒸馏过程中发生如下反应：
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