类型 8626
气体质量流量控制器 (MFC)
- 标称流量范围从 20 lN/min 至zui高 1500 lN/min
- 测量精度和重复性高
- 调控速度快
- 防护等级 IP65
- 选配:现场总线接口
类型 8710
气体质量流量控制器 (MFC)
- 标称流量范围从 0.005 lN/min 至 15 lN/min
- 测量精度和重复性高
- 适用于腐蚀性气体
- 选配:现场总线接口
类型 8711
气体质量流量控制器 (MFC)
- 标称流量范围:0.010 lN/min 至 80 lN/min
- 测量精度和重复性高
- 调控速度特别快
- 选配:现场总线接口
类型 8712
气体质量流量控制器 (MFC)
- 标称流量范围:0.010 lN/min 至 80 lN/min
- 测量精度和重复性高
- 调控速度特别快
- 防护等级 IP65
- 选配:现场总线接口
类型 8713
气体质量流量控制器 (MFC)
- 标称流量范围:0.010 lN/min 至 80 lN/min
- 测量精度和重复性高
- 调控速度特别快
- 通过 RS485 进行数字通信
- 紧凑型版本
类型 8715
气体质量流量调节器 (Mass Flow Controller)
- 采用毛细管技术的旁通仪器,适合额定流量范围 5 mlN/min 至 15 lN/min
- 适合侵蚀性气体
- 紧凑型版本和数字通讯
类型 8741
适用于气体的质量流量调节器 (MFC)/质量流量计 (MFM)
筛选器
- 采用 MEMS 技术直接测量流量
- 测量和重复精度高
- 反应时间非常之短
- 现场总线通信基于 CANopen