X'PertPROMRD/XL高分辩衍射仪介绍

特征X射线及其衍射X射线是一种波长（0.06-20nm）很短的电磁波，能穿透一定厚度的物质，并能使荧光物质发光、照相机乳胶感光、气体电离。用高能电子束轰击金属靶产生X射线，它具有靶中元素相对应的特定波长，称为特征X射线。如铜靶对应的X射线波长为0.154056 nm。

X'Pert PRO MRD/XL高分辩衍射仪是半导体材料的标准装备，用于： 材料科学和纳米技术，半导体材料研究和生产质量控制，可以适用各种应用，尤其适合薄膜分析，例如： 摇摆曲线分析和倒易空间Mapping， 反射率和薄膜相分析，残余应力和织构分析， X'Pert PRO MRD/ XL 满足半导体、LED、薄膜和工业材料的所有高分辨XRD分析需要。XL可以满足直径达 300 mm的晶片分析，并有精密的自动晶片装载选择；XL成为薄膜生产发展的先进的分析手段，LED的业界标准。

X'Pert PRO MRD/XL高分辩衍射仪技术参数：

1，功率：3kW
2，测角仪重现性：0.0001度
3，测角仪类型：T-2T
4，五维样品台