、两者的测试原理不同：直读光谱仪是用电弧（火花）的高温使样品中各种元素从固态直接气化并被激发而射出各元素的特征波长，经光栅分光后，成为按波长排列的“光谱”，这些元素的特征光谱线通过出射狭缝，射入各自的光电倍增管，光信号变成电信号，经仪器的控制测量系统将电信号积分并进行模/数转换，然后由计算机处理，并计算出各元素的百分含量。X荧光光谱仪用X射线照射试样，试样可以被激发出各种波长的荧光X射线，需要把混合的X射线按波长（或能量）分开，分别测量不同波长（或能量）的X射线的强度，以进行定性和定量分析。由于X光具有一定波长，同时又有一定能量，因此，X射线荧光光谱仪有两种基本类型：波长色散型和能量色散型。
2、直读光谱仪要求试样具有导电性，且只能是固体样品，简单地说就是直读只能分析金属固体样品中的元素。而X射线荧光光谱仪对样品要求不高，可以分析粉末样品、固体样品、液体样品，不需要样品具有导电性，金属及非金属样品均可分析，XRF还可量测卤素，用于测试RoHS中管制的元素分析，可以看出X荧光光谱仪适用范围更广，适用于炼钢、有色金属、水泥、陶瓷、石油、玻璃等行业。
3、直读激发测试完样品之后会少量的破坏样品表面，X荧光是无损检测，测试完成后样品不会发生变化。
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