高纯水又名超纯水，是指化学纯度极高的水，其主要应用在生物、化学化工、冶金、宇航、电力等领域，但其对水质纯度要求相当高，所以一般应用普遍的还是电子行业。
工艺概述
在超纯水设备的生产过程中，水中的阴阳离子可用电渗析法、反渗透法及离子交换技术等去除，水中的颗粒一般可用超过滤、膜过滤等技术去除；水中的细菌，目前国内多采用加药或紫外灯照射或臭氧杀菌的方法去除；水中的TOC则一般用活性炭、反渗透处理。在高纯水的应用领域中，水的纯度直接关系到器件的性能、可靠性，因此高纯水要求具有相当高的纯度和精度。
超纯水设备的使用
离子交换混床是通过离子交换树脂在电解质溶液中进行的，可去除水中的各种阴、阳离子，是目前制备超纯水工艺流程中不可替代的手段。离子交换器分为阳离子交换器、阴离子交换器等。当原水通过离子交换柱时，水中的阳离子和水中的阴离子(HCO3-等离子)与交换柱中的阳树脂的H+离子和阴树脂的OH-离子进行交换，从而达到脱盐的目的。阳、阴混柱的不同组合可使水质达到更高的要求，生产出达到更高标准的超纯水。
离子交换法是目前国内外制水行业普遍采用的较为理想的方法，也是经济有效的化学法之一，离子交换是一种利用阴阳交换树脂对离子的选择性及平衡反应原理，去除水中电解质离子的技术。是一套完整成熟的制水工艺，现广泛为广大用户认可。
再生活化原理：当设备运行一段时间，树脂失效，此时需再生，使其恢复交换能力。
注意事项
1. 操作人员应具备纯水设备基础知识，掌握操作规程；
2. 本设备严禁超压负荷工作。
3. 电机应定期检查。
4. 长期闲置不用，应定期搅动，以免树脂发霉。
制备工艺
1、采用离子交换树脂制备超纯水的传统水处理方式，其基本工艺流程为：原水→沙炭过滤器→精密过滤器→原水箱→阳床→阴床→混床(复床)→纯水箱→纯水泵→后置精密过滤器→用水点
2、采用反渗透水处理设备与离子交换设备进行组合的方式，其基本工艺流程为：原水→沙炭过滤器→精密过滤器→原水箱→反渗透设备→混床(复床)→纯水箱→纯水泵→后置精密过滤器→用水点
3、采用反渗透水处理设备与电去离子(EDI)设备进行搭配的方式，这是一种制取超纯水的新工艺，也是一种环保，经济，发展潜力巨大的超纯水制备工艺，其基本工艺流程为：原水→沙炭过滤器→精密过滤器→原水箱→反渗透设备→电去离子(EDI)→纯水箱→纯水泵→后置精密过滤器→用水点
技术特点
1、种采用离子交换树脂其优点在于初投资少，占用的地方少，但缺点就是需要经常进行离子再生，耗费大量酸碱，而且对环境有一定的破坏。
2、第二种采用反渗透作为预处理再配上离子交换设备，其特点为初投次比采用离子交换树脂方式要高，但离子设备再生周期相对要长，耗费的酸碱比单纯采用离子树脂的方式要少很多。但对环境还是有一定的破坏性。
3、第三种采用反渗透作预处理再配上电去离子(EDI)装置，这是目前制取超纯水经济，环保用来制取超纯水的工艺，不需要用酸碱进行再生便可连续制取超纯水，对环境没什么破坏性。其缺点在于初投资相对以上两种方式过于昂贵。
应用场合
1、半导体材料、器件、印刷电路板和集成电路；
2、 超纯材料和超纯化学试剂；
3、 实验室和中试车间
4、汽车、家电表面抛光处理；
5、其他高科技精微产品。
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