尽管新的样品引入技术的研究层出不穷，但溶液雾化法仍然是大多数二手ICP-MS电感耦合等离子质谱应用优先考虑的方法。因此，对于大多数样品类型而言，样品分解是常规分析必要的先决条件。的确，样品分解法仍是分析化学实验室中为普通的操作方法之一。样品分解通常都用强无机酸，不同酸的适当混合已经成功地用于大多数各种样品的分解。溶解样品时，如果采有密封容器系统来增大温度和压力，可以提高分解效率。另一种分解样品的办法，是将样品与碱金属熔剂(如Na：cO，、LiBO：、Na：0z、K2S207)熔融后，再用稀酸浸提，该法对难熔矿物和岩石分解尤为有效。
二手ICP-MS电感耦合等离子质谱法：无机酸的选用
在二手ICP-MS中，常用于分解样品的无机酸以及其他试剂的种类很有限。
硝酸通常被认为是好的酸介质，因为IcP所夹带的空气中已有HNO，的组成元素，加入HN0，基体后，由H：、N：和0。形成的一些多原子离子并不显著增加。另外，HNO，是可获得极纯形式的少数商品酸之一，是超痕量元素分析的理想试剂。
浓盐酸可分解许多金属氧化物，但在二手ICP-MS电感耦合等离子质谱中尽量避免使用，因氯可以形成多原子离子，除非可以采取措施使HC1从中有效地除去。
高氯酸是已知的无机酸之一。它和有机化合物会发生爆炸反应，因此有机样品．如生物组织好先用其它方法将化合物完全分解后，再用HCl04处理。使用HCl0时必须采取严格的安全措施，操作应在专用的通风柜内进行。
氢氯酸是惟一能溶解以Si为基质的物料，在酸溶液中形成SiF2-6离子的酸。HF很少单独使用，为了保证溶解完全，常将氧化性酸HNO3和HF混合使用。要注意的是，HF具有强腐蚀性和毒性，对玻璃也会产生腐蚀作用。
此外，王水和过氧化氢等试剂也有使用，但在中药分析中较少使用。
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