AMMY-1000B扫描电镜真空系统分析及维修孔明光(中国科学院固体物理研究所合肥230031)本文系统地对AMRAY?1000B扫描电镜真空系统原理进行分析,并给出维修实例。 刖目世纪80年代的产品,性能稳定可靠。我单位于1985年从中