技术的发展，驱动微型机械的动力源已成为制约MEMS器件进一步发展的瓶颈。目前对于MEMS器件的驱动方式一般为静电驱动，而常规的电力拖动，一般则不能满足所需的精度要求。 对于在航空领域微型推进系统中的应用，由于MEMS器件具有比大推进系统更
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