Safematic 镀膜仪的工作顺序详细内容 离子镀膜是真空室中,利用气体放电或者被蒸发物质部分离化,在气体离子或被蒸发物质粒子轰击作用的同时,将蒸发物或反应物沉积在基片上。 可进行高性能精细颗粒镀膜,适合场发射电镜制样应用以及