压电陶瓷致动器中--电压放大器的应用
压电陶瓷致动器中--电压放大器的应用：随着精密工程和微细工程的迅速发展, 亚μm 和nm 级定位技术和微动伺服技术已成为微机电系统（MEMS）、超精密加工、微电子、光电子和生物工程等前沿学科的关键技术。压电陶瓷驱动系统作为理想的nm
标签: 2019-10-10
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标签: 2019-10-09
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