复合泵结构所示(SIP+NEG)复合泵所用的SIP为北京科仪厂的商用200L/s二极泵。阳极组件和阴极均在500真空除气约24h.该泵极限真空为1110-8Pa.在SIP的抽气法兰连接管内侧焊接螺钉,用于悬挂和固定NEG组件,组件正好占领S