纪80年代初期，随着微电子工业的发展，具有大抽气量和更低的极限压力的复合分子泵诞生了。在复合分子泵中的牵引级又开始利用了盘型分子泵。这主要是盘型分子泵与涡轮分子泵组合可以相互弥补不足。为了使盘型复合分子泵的性能进一步提高，对抽气通道内气体的
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