为了改进静电微泵的性能、优化静电微泵的结构，分析膜片的变形过程和腔体的体积变化是必不可少的工作。本文分析微泵腔的端点量，并建立静电微泵腔的宏模型，对膜片在静电力驱动下的变形及其引起的静电微泵腔体的体积变化进行分析。后建立微泵腔各端点量之间的
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