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抛光液、抛光垫等CMP化学机械研磨抛光材料

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吉致电子---研磨液的4个功能
发布时间:2023-06-29        浏览次数:15        返回列表

研磨液属于抛光液、磨削液的一种,在加工过程中主要有四个特点,下面由吉致电子小编给大家介绍一下吧!

1.研磨液具有润滑能力。润滑主要指渗入工件的研磨液与磨屑之间形成的润滑膜。这种薄膜可以减少摩擦,增加砂轮的耐久性,有效防止工件表面粗糙度恶化。

2.研磨液具有冷却能力。在磨抛工件时,研磨液能迅速吸收加工时产生的热量,降低其温度,保持工件表面精度,防止工件表面完整性恶化,保证磨粒的自锐效果。磨削液流量越大,其冷却能力越高,工件表面温度越低。

3.研磨液具有防锈功能。正确使用研磨液可确保工件和机台不会生锈。需要防锈处理的水基研磨液,加入适量防锈剂可以防止生锈。而对于油基研磨液来讲,一般不会生锈。

4.研磨液具有清洁功能。研磨液起到润滑作用的同时,可以冲走气孔内堆积的废料和磨屑,防止堵塞。粘度越低,越容易渗透,清理碎屑的能力越强。

由此可以了解到研磨抛光机工作时,需要注入相应的CMP化学抛光液以降低温度。同时基于研磨液润滑和冷却的作用,可以改善砂轮的磨损和堵塞,提高工件表面的加工精度。随着工件表面完整性的需要,对改善和提高工件性起到很大帮助。

吉致电子研发生产的金刚石研磨液具有磨削快、不留痕、易清洗的优点,广泛应用于半导体抛光:蓝宝石衬底抛光、硅片slurry抛光、光学玻璃抛光等。如果您有抛光难题,欢迎来电,15年经验工程师为你出方案!

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