双靶磁控溅射仪

结构（点击图片查看详细资料）输入电源220VAC 50/60Hz, 单相2000W  (包括泵)溅射电源安装有两个溅射电源直流（DC）电源：500W，针对于金属膜射频（RF）电源：600W，可氧化物和金属膜同时可选配300W的射频电源

磁控溅射头仪器中安装有2个磁控溅射头，而且都带有水冷夹层，可通入冷却水对靶材降温其中一个溅射头与射频电源相连接，主要是溅射绝缘性靶材另一个溅射头与直流电源相连接，主要溅射导电性靶材靶材尺寸要求：金属靶：直径为50mm,zui大厚度1.5mm             陶瓷靶：直径为50mm,zui大厚度6mm仪器中标配一个不锈钢靶和氧化铝陶瓷靶溅射头所需冷却水：流速10ml/min（仪器中配有一台流速为16ml/min的循环水冷机）

也可以根据自己的要求选择2个射频溅射头或3个射频溅射头，订购前需于本人员真空腔体真空腔体：300 mm Dia x 300 mm h，采用不锈钢观察窗口：  100 mm diameter腔体打开方式采用上顶开，使得换靶更加容易

载样台载样台尺寸：140mm dia.（zui大可放置4"的基底）载样台可以旋转，其速度为：1 - 20 rpm （可调）载样台zui高可加热温度为500℃，控温精度为+/- 1.0 °C

气体流量控制器

仪器内部安装有2个质量流量计量程为：0-200sccm气体流量设置可以在6英寸的触摸屏上进行操作真空泵系统配有一套分子泵系统（德国），采用一键式操作

薄膜测厚仪一个精密的石英振动薄膜测厚仪安装在仪器上，可实时监测薄膜的厚度，分辨率为0.10 Å  LED显示屏显示，同时也输入所薄膜的相关数据

外形尺寸L1300mm× W660mm× H1200mm重量160 kg质保期一年质保期，终生维护

https://www.chem17.com/st152911/erlist_1290255.html

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